传送晶圆的机械手臂及晶圆清洗装置.pdfVIP

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2023-05-26 发布于四川
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传送晶圆的机械手臂及晶圆清洗装置.pdf

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本发明公开了一种传送晶圆的机械手臂及晶圆清洗装置，传送晶圆的机械手臂包括基体、第一手臂、第二手臂、多个第一喷嘴以及多个第二喷嘴。第一手臂及第二手臂连接于基体的底部。第一手臂与第二手臂相对设置，用以夹取沿一个方向排列的多个晶圆。第一喷嘴设于第一手臂或基体上，第二喷嘴设于第二手臂或基体上。本发明的机械手臂及晶圆清洗装置具有防止晶圆过早干燥的功能。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112309825 A (43)申请公布日 2021.02.02 (21)申请号 20191