晶圆对准模板图像生成方法.pdfVIP

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2023-05-26 发布于四川
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晶圆对准模板图像生成方法.pdf

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本发明公开了一种用于晶圆对准的晶圆模板图像生成方法，能产生各级晶圆对准所需的高精度的模板图像，该晶圆模板图像生成方法包括：对所选模板区域，获得晶圆设计信息包括各层结构和层结构对应的材料信息，对正入射或接近正入射照明的光学成像系统包括OM系统和TDI系统，将晶圆表面结构划分微分区域，计算晶圆上各微分区域到图像采集单元感光区域中对应的微分像素反射率，用图像采集单元感光区域内微分像素反射率的平均值作为图像采集单元对应像素的原始值，并归一(映射)到像素灰度值数据类型所对应的取值范围，构成模板图像中各像素

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112289726 A (43)申请公布日 2021.01.29 (21)申请号 202011181837.2 (22)申请日 2020.10.29 (71)申请人上海精测半导体技术有限公司