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本发明实施例公开了一种激光直写成像修正方法，包括：获取标定板上每个可识别图形的第一纵坐标；采用激光直写成像LDI设备将可识别图形曝光到附有感光材料的基板上，并获取曝光于基板上各可识别图形的第二纵坐标；计算第一纵坐标与第二纵坐标之间的差值，并判断差值是否小于设定阈值；若否，则根据差值调整图形曝光触发信号的物理长度；基于物理长度返回执行采用激光直写成像设备将可识别图形曝光到附有感光材料的基板上，并获取曝光于基板上各可识别图形的第二纵坐标的操作，直到差值小于设定阈值；将调整后的物理长度确定为激光直写成
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112286009 B
(45)授权公告日 2021.06.01
(21)申请号 202011045521.0 (56)对比文件
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