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本发明提供了一种多晶硅生长炉,其通过设置冷却结构对该生长炉进行冷却,从而降低了爆炸风险。其包括炉体本体,所述炉体本体的两端分别设有活动连接的左法兰盖和右法兰盖,其特征在于:所述炉体本体包括两端部密封连接的内筒体和外筒体,所述内筒体与所述外筒体之间设有螺旋形第一导流板,所述外筒体的上端和下端分别设有冷却液的进水口和出水口,所述左法兰盖和所述右法兰盖分别通过悬吊机构与所述炉体本体转动连接,所述右法兰盖的中心处及沿中心外周均匀分布有仪表放置孔,沿所述右法兰盖上还设有供反应介质进入的送料孔;所述左法兰盖
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112281212 A
(43)申请公布日 2021.01.29
(21)申请号 202011244537.4
(22)申请日 2020.11.10
(71)申请人 无锡双雄通用机械有限公司
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