一种大视场X射线吸收光栅及其制作方法.pdfVIP

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2023-05-26 发布于四川
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一种大视场X射线吸收光栅及其制作方法.pdf

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本发明实施例公开了一种大视场X射线吸收光栅及其制作方法。大视场X射线吸收光栅包括金属叠层，金属叠层包括层叠设置的多个第一金属层和多个第二金属层；每个第一金属层的第一端的厚度大于第一金属层的第二端的厚度，每个第二金属层的第一端的厚度大于第二金属层的第二端的厚度，第一金属层的第一端和第二金属层的第一端位于大视场X射线吸收光栅的第一端，第一金属层的第二端和第二金属层的第二端位于大视场X射线吸收光栅的第二端；第一金属层的密度大于第二金属层的密度。本发明实施例的提供的大视场X射线吸收光栅具有大深宽比，光栅

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112255718 A (43)申请公布日 2021.01.22 (21)申请号 202011364767.4 (22)申请日 2020.11.27 (71)申请人深圳大学地址 51

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