原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种用于微纳光栅阴极组件的ALD镀膜夹具，包括下底板、上盖板和托盘，下底板上设置有用于容纳防光晕输入玻璃窗的凹槽，上盖板上设置有通孔，微纳光栅基片设置于防光晕输入玻璃窗的顶部且防光晕输入玻璃窗的顶部与微纳光栅基片均卡接于通孔内，下底板与上盖板可拆卸连接，托盘上设置有容纳槽，容纳槽的小孔卡接下底板和上盖板，托盘可拆卸层叠设置有若干层。本发明的镀膜过程中，只需要对露出上盖板的微纳光栅基片结构面进行镀膜，其他区域不需要镀膜，上盖板可覆盖保护非镀膜区域，防止镀膜过程中非镀膜区域有膜层沉积；托
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115976495 A
(43)申请公布日 2023.04.18
(21)申请号 202211628960.3
(22)申请日 2022.12.19
(71)申请人 杭州邦齐州科技有限公司
地址 3
文档评论（0）