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本发明公开了一种硅基宽带宽角扫描天线单元，从上至下由矩形贴片1、玻璃基板2、缝隙耦合馈电层3、硅基基片集成波导背腔4和阻抗变换层6组成，所述硅基基片集成波导背腔4中设置有贯穿其上下表面的硅基金属化屏蔽过孔5，所述硅基金属化屏蔽过孔5将连接缝隙耦合馈电层3和阻抗变换层6进行连接，所述阻抗变换层6为共地共面波导结构，其中间条状延伸部分为微带馈电传输线7。本发明公开的硅基宽带宽角扫描天线单元采用标准化的玻璃基板、硅基板以及标准化的布线、过孔和铜锡键合工艺实现，降低了工艺复杂度和加工成本，整个结构具有低
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112290206 A
(43)申请公布日 2021.01.29
(21)申请号 202011081479.8
(22)申请日 2020.10.10
(71)申请人 中国电子科技集团公司第十四研究
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