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一种水冷热屏结构、单晶硅生长装置以及单晶硅生长方法.pdfVIP

一种水冷热屏结构、单晶硅生长装置以及单晶硅生长方法.pdf

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    本发明公开了一种水冷热屏结构、单晶硅生长装置以及单晶硅生长方法，涉及单晶硅生长领域。该水冷热屏结构的一具体实施方式包括：内壳的内表面排列设置槽形结构；内壳的剖面和外壳的剖面均为倒置的等腰梯形结构；内壳套装在外壳内，内壳的上边缘和下边缘分别与外壳的上边缘和下边缘密封连接；内壳与外壳之间形成空腔，冷却水导流装置设置于空腔内。该实施方式能够有效地提高水冷热屏结构吸收热辐射的能力，从而提高水冷热屏结构的散热效果。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112251808 A (43)申请公布日 2021.01.22 (21)申请号 202011212550.1 (22)申请日 2020.11.03 (71)申请人 晶澳太阳能有限公司 地

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