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节流阀.pdfVIP

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  • 2023-05-26 发布于四川
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节流阀.pdf

    本发明涉及一种节流阀，应用于单晶炉的排气管道上，用于调节单晶炉内的炉压，包括阀体，所述阀体包括阀板和升降结构；所述升降结构用于控制所述阀板在与所述排气管道的排气口的径向方向相平行的第一方向往复移动，以控制所述排气口的开度。通过阀板的上下滑动来改变排气管的截面积来控制流量，阀板上下刮擦可以起到清除排气管的排气口处的氧化物附着的作用，降低动作阻力，很好的避免了阀板与管道壁出现因氧化物粉尘附着导致卡死的问题。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115978215 A (43)申请公布日 2023.04.18 (21)申请号 202211616856.2 B08B 9/027 (2006.01) (22)申请日 2022.12.

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