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- 2023-05-26 发布于四川
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本发明公开了一种用于降低清洗酸槽中酸用量的添加剂以及应用，添加剂包括螯合剂1～3％、表面润湿剂0.05～0.1％、表面活性剂0.01～0.05％、助溶剂1～2％以及去离子水，将添加剂按质量比0.5～1.5％加入到酸槽溶液中，混合均匀得到酸槽清洗液，将制绒后的硅片经去离子水中清洗，再置入后双氧水槽中清洗，再置入去离子水中清洗后投入酸槽清洗液中进行酸洗，后浸入去离子水中再清洗后浸渍于去离子水中慢慢提拉出来，然后置于干燥箱中烘干，增加HF的使用效率以及可以有效降低生产线上酸槽中使用的酸耗量，降低耗量的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115975738 A
(43)申请公布日 2023.04.18
(21)申请号 202211595109.5 C11D 3/32 (2006.01)
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