一种硅片加工用去除磷硅玻璃酸洗装置.pdfVIP

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2023-05-26 发布于四川
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一种硅片加工用去除磷硅玻璃酸洗装置.pdf

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本发明公开了一种硅片加工用去除磷硅玻璃酸洗装置，属于硅片加工领域，包括清洗箱、氢氟酸溶液罐和离子水罐，所述的清洗箱内设有支架，电动移动块下表面设有升降杆，旋转电机输出轴和旋转轴连接，夹持板上设有多组固定夹，三组隔板将清洗箱分割成酸洗槽、清洗槽、精洗槽和烘干槽，清洗箱上设有离子水罐，第一输水支管出口端和酸洗槽连通，氢氟酸传输管出口端设置在酸洗槽内部中间位置，第二输水支管出口端设有喷洗管，第三输水支管出口端设有喷淋盘，烘干槽内部设有烘干器，烘干槽和喷气机连通。本发明方便酸洗液和硅片的充分接触，利于去

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112289716 A (43)申请公布日 2021.01.29 (21)申请号 202011243705.8 (22)申请日 2020.11.10 (71)申请人湖南旭昱新能源科技有限公司