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本发明提供了一种一体式加热盘的制作方法。它解决了现有的加热盘由于制作方式、制作材料和制造精度等因素的不同，导致加热盘的使用寿命较短等技术问题。一体式加热盘的制作方法，一体式加热盘包括上盘、加热丝和下盘，一体式加热盘的制作步骤如下：步骤一：通过机床将金属原胚加工成下盘；步骤二：将加热丝放置在下盘上，并使用镶件根据加热丝的布局挖槽后将加热丝固定在下盘上；步骤三：将上盘通过铸造的方式与下盘铸造成一体，并在铸造过程中加入钛和硅；步骤四：使用高温锻压的方式，对铸造完成的一体式加热盘进行处理；步骤五：将加热
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115988689 A
(43)申请公布日 2023.04.18
(21)申请号 202211640154.8
(22)申请日 2022.12.19
(71)申请人 浙江龙际立尔半导体科技有限公司
地
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