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2023-05-26 发布于四川
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一种复合型多功能双面卷绕镀膜机.pdf

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本发明涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种复合型多功能双面卷绕镀膜机，包括真空容器，真空容器内设有收放卷室，第一镀膜机构，第二镀膜机构；第一镀膜机构包括第一镀膜辊，沿着第一镀膜辊的圆周方向至少设置有一个溅射镀膜区和一个蒸发镀膜区；第二镀膜机构包括第二镀膜辊，沿着第二镀膜辊的圆周方向至少设置有一个溅射镀膜区和一个蒸发镀膜区；收放卷室内设有放卷辊、第一导辊、第二导辊和收卷辊，从放卷辊出来的薄膜基材依次经过第一导辊、第一镀膜辊、第二镀膜辊、第二导辊、收卷辊。本发明实现了磁控溅射镀膜和蒸发镀膜的复合镀

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112251731 A (43)申请公布日 2021.01.22 (21)申请号 202011251952.2 (22)申请日 2020.11.11 (71)申请人广东

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