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- 2023-05-26 发布于四川
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一种反应腔装置及其工作方法，反应腔装置包括：反应腔主体；位于所述反应腔主体内的晶圆夹持平台，所述晶圆夹持平台的表面适于放置晶圆；贯穿所述晶圆夹持平台的若干位移孔；分别位于所述位移孔中的顶针，所述顶针的顶头设置有测温探头，所述顶针适于在所述位移孔中往复移动，使所述顶针的顶头在高于所述晶圆夹持平台的上表面的位置至低于所述晶圆夹持平台的上表面的位置之间变化。所述反应腔装置能够对H2混合气还原灰化反应中的晶圆的温度进行有效的控制和调节。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112259437 A
(43)申请公布日 2021.01.22
(21)申请号 202011283061.5
(22)申请日 2020.11.17
(71)申请人 上海谙邦半导体设备有限公司
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