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一种MEMS麦克风芯片.pdfVIP

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  • 2023-05-27 发布于四川
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一种MEMS麦克风芯片.pdf

    本发明涉及一种MEMS麦克风芯片，其包括衬底，衬底上具有贯穿其两端的声道孔；振膜，其包括膜主体和至少三个膜连接部，膜连接部沿周向连接于膜主体的外周，膜连接部远离膜主体的一端设置于衬底上方，膜主体对应声道孔设置；背板，背板设置于振膜远离衬底的一侧，背板和膜主体相对设置且间隔有空腔；其在膜主体外周连接膜连接部，通过部分固定的形式，降低振膜外周的刚度，使振膜各位置刚度更均匀，从而使振膜在声压作用下的位移更均匀，在相同振膜顺性下具有更大的偏置电压，从而具有更大的灵敏度，提高麦克风信噪比。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115988394 A (43)申请公布日 2023.04.18 (21)申请号 202211430874.1 (22)申请日 2022.11.15 (71)申请人 湖北九峰山实验室 地址 4300

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