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拼接产品的图形拼接方法.pdfVIP

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  • 2023-05-27 发布于四川
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拼接产品的图形拼接方法.pdf

    本发明公开了一种拼接产品的图形拼接方法，包括：步骤一、提供拼接产品的芯片设计版图；步骤二、根据芯片设计版图设计光罩版图，包括：步骤21、设置单元光罩图形；步骤22、将单元区之间的相邻区域的逻辑图形或切割道图形合并在一起来设置对应的周边光罩图形；步骤23、将各相同的周边光罩图形合并为一个；步骤24、将单元光罩图形和各周边光罩图形组成光罩版图并形成在光罩上；步骤三、进行重复曝光形成拼接产品，包括：在单元区采用单元光罩图形进行重复曝光直至定义出单元区的所有单元电路图形；在周边区采用对应的周边光罩图形进

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116165839 A (43)申请公布日 2023.05.26 (21)申请号 202111409200.9 (22)申请日 2021.11.25 (71)申请人 上海华力微电子有限公司 地址 2

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