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本申请涉及一种载物台水冷装置及其故障检测方法，载物台水冷装置包括：水箱、第一管道和第二管道，水箱具有抽水口和回流口，第一管道包括与抽水口连接的抽取管道、位于载物台内部的冷却管道以及与水箱的回流口连接的回流管道，第二管道连接于抽取管道和回流管道之间且靠近抽水口和回流口，第一管道与水箱形成制冷循环回路，第二管道与水箱形成测试循环回路；故障检测方法包括：开通制冷循环回路、关闭测试循环回路，获取抽水口处的第一流量值和回流管道的第二流量值；关闭制冷循环回路、开通测试循环回路，获取抽水口处的第三流量值；根据
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112325558 A
(43)申请公布日
2021.02.05
(21)申请号 20191
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