用于固体材料直接测试的等离子质谱仪系统及测试方法.pdfVIP

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2023-05-27 发布于四川
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用于固体材料直接测试的等离子质谱仪系统及测试方法.pdf

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本发明提供了一种用于固体材料直接测试的等离子质谱仪系统及测试方法，包括：待测样品、载物台、等离子发生管、等离子电离源、离子聚焦透镜、四极杆离子传输装置、检测器和质量分析器；所述待测样品置于载物台上；所述等离子发生管垂直悬于载物台上方，与载物台呈45°夹角；所述等离子电离源水平放置，与等离子发生管和载物台贴近；所述四极杆离子传输装置水平放置，与等离子电离源中间隔有竖直放置的离子聚焦透镜；所述检测器和质量分析器分别置于四极杆离子传输装置的末端的两侧。本发明中的等离子刻蚀不但可以处理固体待测样品，同时

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112326772 A (43)申请公布日 2021.02.05 (21)申请号 202011241329.9 (22)申请日 2020.11.09 (71)申请人上海裕达实业有限公司

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