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本发明公开了一种基于片上光开关和延迟线阵列的傅里叶变换光谱仪,包括光学分束器、马赫‑增德尔干涉仪、光学耦合器和光电探测器,光学分束器用于将输入光信号分配为第一光信号和第二光信号;马赫‑增德尔干涉仪包括第一臂、第二臂和光开关阵列,第一臂用于传送第一光信号,第二臂用于传送第二光信号,光开关阵列级联在第一臂和第二臂中的至少一个臂上,用于形成延迟光程差,实现从0、ΔL、2ΔL、3ΔL、到(2N‑1)ΔL的光延迟控制;光学耦合器用于将第一臂传送的第一光信号和第二臂传送的第二光信号组合成干涉信号,光电探测器
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112326027 A
(43)申请公布日 2021.02.05
(21)申请号 202011166605.X
(22)申请日 2020.10.27
(71)申请人 联合微电子中心有限责任公司
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