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本发明公开了一种基于微纳结构阵列表面的流体压力传感器及其制备方法，属于材料科学技术领域，本发明制备特定排布的微条带纳米柱微纳复合结构阵列基底表面，通过气相沉积技术对此基底表面进行修饰，并与带有一个主流体孔道和多个梯形测量孔道的PDMS芯片结合构成流体压力传感器。通过刻蚀等方法制备的微条带纳米柱复合结构阵列表面，在梯形微孔道中形成多个稳定的具有梯度阈值压力的被动阀门，大幅度提高了流体压力传感器的稳定性和灵敏度，测量量程可达2～800mbar，灵敏度可达16.71mbar‑1。本发明的流体压力传感器
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112326100 B
(45)授权公告日 2021.12.07
(21)申请号 202011168557.8 CN 110508195 A,20
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