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本发明实施例提供了一种单晶硅棒的制造方法,所述单晶硅棒的制造方法包括:将原生多晶硅料装入坩埚中;加热熔化所述坩埚内的原生多晶硅料,得到原始硅液;将所述原始硅液进行提纯,得到硅液;在所述硅液中执行引晶、放肩、等径操作,以得到单晶硅棒,其中,在所述等径操作过程中发生晶棒断线时,执行重新熔化所述晶棒断线处的固态硅以及续接拉晶的操作。本发明实施例中可以提高单晶硅棒的品质,降低所述单晶硅棒的断线率,提高所述单晶硅棒的整根率。在所述单晶硅棒用于生产多晶硅时,可以相应提高所述多晶硅的品质。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112301426 B
(45)授权公告日 2022.08.12
(21)申请号 201910713504.0 (56)对比文件
(22)申请日 2019.08.02
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