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一种单晶硅棒的制造方法.pdfVIP

一种单晶硅棒的制造方法.pdf

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    本发明实施例提供了一种单晶硅棒的制造方法，所述单晶硅棒的制造方法包括：将原生多晶硅料装入坩埚中；加热熔化所述坩埚内的原生多晶硅料，得到原始硅液；将所述原始硅液进行提纯，得到硅液；在所述硅液中执行引晶、放肩、等径操作，以得到单晶硅棒，其中，在所述等径操作过程中发生晶棒断线时，执行重新熔化所述晶棒断线处的固态硅以及续接拉晶的操作。本发明实施例中可以提高单晶硅棒的品质，降低所述单晶硅棒的断线率，提高所述单晶硅棒的整根率。在所述单晶硅棒用于生产多晶硅时，可以相应提高所述多晶硅的品质。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112301426 B (45)授权公告日 2022.08.12 (21)申请号 201910713504.0 (56)对比文件 (22)申请日 2019.08.02

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