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本发明提供一种研磨装置,包含基座、二承载组、第一砂轮组及第二砂轮组。二承载组分别设置于基座上并包含下主轴及载盘。载盘设置于下主轴上以承载待磨组件。第一砂轮组及第二砂轮组分别可位移地设置于基座上。第一砂轮组包含第一Z轴滑台及第一砂轮轴。第二砂轮组包含第二Z轴滑台及第二砂轮轴。第一砂轮轴可位移地设置于第一Z轴滑台上,并受第一Z轴滑台带动于二载盘上方位移。第二砂轮轴可位移地设置于第二Z轴滑台上,并受第二Z轴滑台带动于二载盘上方位移。借此,可提升研磨装置的作业速度及加工精度,并提升产品良率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112296830 A
(43)申请公布日
2021.02.02
(21)申请号 20191
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