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一种探测芯片的测试系统.pdfVIP

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  • 2023-05-27 发布于四川
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一种探测芯片的测试系统.pdf

    本申请提供一种探测芯片的测试系统，其特征在于，包括：第一光源，用于向所述探测芯片提供均匀光；探针板卡，设置在所述探测芯片上方；反射镜，设置在所述探针板卡与所述第一光源之间；第二光源，设置在所述反射镜下方，用于向所述探测芯片提供调制光。通过在测试系统中采用均匀加平行的光学方案，可以在平行光管下的区域内，实现光线通过探针板卡通孔对sensor芯片提供均匀的光覆盖；其采用反射镜机构作为切换均匀光和调制光模块的物理开关，代替了光阑机构，结构更加简化，并且保证了均匀光源和调制光源的工作状态不会干扰。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116165412 A (43)申请公布日 2023.05.26 (21)申请号 202111409791.X (22)申请日 2021.11.25 (71)申请人 宁波飞芯电子科技有限公司 地址

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