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一种基于激光干涉法的斜齿轮齿面形貌测量光路及方法.pdfVIP

一种基于激光干涉法的斜齿轮齿面形貌测量光路及方法.pdf

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    本发明公开了一种基于激光干涉法的斜齿轮齿面形貌测量光路，通过多个反光镜、半反半透镜、扩束镜、光楔、分光棱镜、成像透镜、CCD相机、He‑Ne激光器、波片和压电陶瓷组成；本发明还公开了测量方法，首先调整光路；然后使斜齿轮绕X轴旋转，在仿真程序里面进行齿轮齿面光路追迹计算，实现此齿轮的全域测量，能够提高激光在斜齿轮齿面上的照射面积甚至实现整个齿面上的全域测量，解决了现有技术中测量光线被遮挡，测量光线无法到达CCD成像表面而导致的齿根面域形状信息缺失的问题。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112304240 A (43)申请公布日 2021.02.02 (21)申请号 202011116607.8 (22)申请日 2020.10.19 (71)申请人 西安工程大学 地址

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