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可以使用各种方法来查验表面,例如半导体晶圆上的分层半导体结构的表面。某些方法利用二次谐波产生,而其它方法则使用四波混频或多波混频。可以将电晕放电应用于样品,以提供额外信息。一些方法涉及确定来自被辐射照射的样品的电流。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112352150 A
(43)申请公布日 2021.02.09
(21)申请号 201980043576.7 (74)专利代理机构 北京弘权知识产权代理事务
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