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激光装置(10)包括发出激光的激光振荡器(20)和接收激光并向外部出射的光学单元(16)。光学单元(16)具有部分透射反射镜(MD)、扩散板(DP)以及光电二极管(PD)。该部分透射反射镜(MD)一方面将激光的一部分向外部反射，另一方面使激光的剩余部分透过；该扩散板(DP)使透过了部分透射反射镜(MD)的激光以规定的扩散角扩散，同时向规定方向偏振；该光电二极管(PD)接收在扩散板(DP)发生了偏振的激光，输出电信号。激光装置(10)构成为基于光电二极管(PD)的输出信号监测激光的光轴偏移。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112352358 A
(43)申请公布日 2021.02.09
(21)申请号 201980032057.0 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任
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