一种辊压单元、划槽晶圆分离装置及划槽晶圆分离方法.pdfVIP

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2023-05-27 发布于四川
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一种辊压单元、划槽晶圆分离装置及划槽晶圆分离方法.pdf

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本发明提供了一种辊压单元，涉及划槽晶圆分离技术领域。该辊压单元包括基准座、压辊、顶推机构和调紧机构；基准座和压辊通过顶推机构连接，顶推机构具有弹性，压辊能够在顶推机构的弹力作用下远离基准座；压辊的移动方向与其自身的轴线方向垂直；调紧机构设置在顶推机构上，用于调整顶推机构的弹力。本发明的辊压单元，能够通过调紧机构改变顶推机构的弹力，进而调整压辊对划槽晶圆的碾压作用力，防止由于作用力太小而出现粘连，或者由于作用力过大而出现崩边的情况，提高晶圆产品生产效率低而降低产品破损率。在此基础上，本发明还提供了

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112331589 A (43)申请公布日 2021.02.05 (21)申请号 202011159426.3 (22)申请日 2020.10.26 (71)申请人北京

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