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本发明涉及一种高灵敏度实时在线原位振动检测系统及方法，基于光场内部干涉原理识别振动模式且通过匹配连续振动点的相似曲线来区分振动信号源和振动噪声干扰，同时高灵敏度光路系统可以识别干涉区域的微小变动，从而实现高灵敏度实时在线原位振动检测。激光进入分光棱镜，一部分光束直接到达反射镜面，而后返回至分光棱镜后，被探测器采集；另一部分光束经过光学变换后光路进入振动模块,振动改变入射光束反射路径和光偏振信息，信息光束与在先反射光束发生干涉，以不发生振动状态的探测器界面为基准，识别振动模式和干涉区域振动位移的微
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112326013 A
(43)申请公布日
2021.02.05
(21)申请号 20191
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