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提供一种能够准确地评价向基板照射的激光的激光能量测定装置。本发明的激光能量测定装置具备：第一分束器，其在照明光学系统的内部或外部，将激光通过P偏振反射及S偏振反射中的一方进行反射；第二分束器，其针对由第一分束器反射了的第一反射光实施P偏振反射及S偏振反射中的另一方；第一测定部，其测定由第二分束器反射了的第二反射光的能量；以及第二测定部，其测定透过了第二分束器的透射光的能量。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112313487 A
(43)申请公布日 2021.02.02
(21)申请号 201980040983.2 (74)专利代理机构 北京同达信恒知识产权代理
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