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2023-05-27 发布于四川
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一种用于圆晶倒角的倾斜保护装置.pdf

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本发明涉及半导体加工设备技术领域，且公开了一种用于圆晶倒角的倾斜保护装置，包括检测柱，所述检测柱的底部固定连接有液体储存柱，所述检测柱的内侧壁固定连接有液压柱，所述液压柱的内侧壁滑动连接有顶杆，所述顶杆的顶端固定连接有永磁体一，所述永磁体一的顶端固定连接有复位弹簧一；检测支架内的滑动块被横杆带动，向内侧移动，在滑动块向内侧移动时，使滑动块上的连接杆随之移动，使连接杆带动弹性片向上形变，使弹性片上的触点与导电平台上的传输线接触，使检测柱外侧的报警器在通电后，发出警报，提醒人员出现过大的倾斜角度，使

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112297259 A (43)申请公布日 2021.02.02 (21)申请号 202011131763.1 (22)申请日 2020.10.21 (71)申请人广州蓝涛贸易有限公司

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