锭的切断方法及线锯.pdfVIP

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2023-05-27 发布于四川
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锭的切断方法及线锯.pdf

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本发明为一种锭的切断方法，由在多个导线器之间呈螺旋状卷绕且在轴向上移动的金属线形成金属线列，一边从喷嘴向锭与所述金属线的接触部供给浆料，一边将所述锭抵靠至所述金属线列，从而将所述锭切断成晶圆状，其中，从所述喷嘴的、与所述金属线列的移动方向正交的两个以上区间分别供给通过两个以上系统的热交换器单独进行温度控制的浆料，而进行所述浆料的供给。由此，提供能够根据锭的切断部位而进行晶圆形状的单独控制的线锯及锭的切断方法。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111954586 A (43)申请公布日 2020.11.17 (21)申请号 201980025003.1 (74)专利代理机构北京路浩知识产权代理有限