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2023-05-27 发布于四川
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一种模块化互连结构促进由竖直GAAFET构建复杂还紧凑的集成电路。该模块化互连结构包括到晶体管端子的环形金属触点、径向地从竖直纳米线向外延伸的堆叠盘的扇区、以及采用杆形式的过孔。安装到径向扇区互连的延伸接片准许从每个晶体管端子扇出信号。通过线性区段联接相邻互连。不像常规的集成电路，如在此所描述的模块化互连与晶体管同时形成。竖直GAA与非门和或非门提供用于创建所有类型的逻辑门以实施任何期望的布尔逻辑函数的构建块。该模块化互连结构使得堆叠的竖直GAAFET成为可能。该模块化互连结构准许使用标准的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112310042 A (43)申请公布日 2021.02.02 (21)申请号 202011202036.X H01L 27/07 (2006.01)

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