一种用于多种气体分析的小型光学系统.pdfVIP

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2023-05-28 发布于四川
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一种用于多种气体分析的小型光学系统.pdf

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本发明公开了一种用于多种气体分析的小型光学系统，包括发射单元、聚焦单元、光路偏转单元、反射单元和检测单元，聚焦单元将光束适当汇聚使得光束发散角减小到一定值，而聚焦单元与光束横截面呈一定角度设置使得光束偏离发射单元光轴以减小光路系统体积的同时增加发射单元和检测单元的安装空间，其中光路偏转单元的楔形镜直角面与反射单元的反射镜反射面相对设置并形成密闭的测量气室，使测试气体始终通入在楔形镜和反射镜之间，能有效防止测试气体对电子元件的损害，而且楔形镜的直角面设置的防污部也能有效防止镜片被过程气体中的杂质污

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116165157 A (43)申请公布日 2023.05.26 (21)申请号 202310207076.0 (22)申请日 2023.03.06 (71)申请人昶艾科技（成都）有限公司地址