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本公开提供了一种双波导分布式反馈半导体激光器,包括:N面电极层(1)、衬底层(2)、缓冲层(3)、下波导层(4)、多量子阱有源层(5)、上波导层(6)、光栅层(7)、刻蚀自停止层(8)、包层(9)、欧姆接触层(10)、P面电极层(11‑12),各层依次叠加,从欧姆接触层(10)表面指向衬底的方向刻蚀有平行的第一沟道(15)、第二沟道(16)和第三沟道(17),第一沟道(15)与第二沟道(16)之间形成第一波导(13),第二沟道(16)与第三沟道(17)之间形成第二波导(14),第一波导(13)和
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112382924 B
(45)授权公告日 2022.04.22
(21)申请号 202011264911.7 H01S 5/343 (2006.01)
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