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一种复合量程石英谐振加速度传感器.pdfVIP

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  • 2023-05-28 发布于四川
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一种复合量程石英谐振加速度传感器.pdf

    一种复合量程石英谐振加速度传感器，由外部的小量程加速度计和中间的大量程加速度计嵌套构成，大小量程加速度计为相似结构，整体结构成中心对称布局，由一石英片贯穿腐蚀加工而成；大小量程加速度计均包括石英音叉、柔性杠杆、应力分配梁和敏感质量块，敏感质量块受到加速度作用产生的惯性力传递到柔性杠杆上，经过柔性杠杆放大作用传递到应力分配梁上，应力分配梁把惯性力先集中然后再均分到石英音叉的两根振梁上；根据被测量的大小启动大小量程加速度计，一端的石英音叉受到的力为拉应力，频率升高，另一端受到压应力，频率降低，两者的

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112379126 B (45)授权公告日 2021.08.27 (21)申请号 202011205643.1 (51)Int.Cl.

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