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本发明提出了一种用于多尺度表面改性的便携式等离子体装置,由多个等离子装置单体并联而成,所述等离子装置单体的左右两侧分别设置侧耳和卡槽,等离子装置本体的两侧沿侧面和等离子装置单体的连接处都有设有比侧面宽度长的一端密封的相同的介质管,每个介质管内设有电极,从等离体一侧到另一侧,高压电极、低压电极交替设置,是钨棒[Z1]。本发明实现等离子体刷的灵活拼接,以适配不同大小的被处理物,大大增加了等离子体源的适用性。采用双介质阻挡的反应器结构产生等离子体,通过对电极以及气路结构的优化可在大气压条件下产生均匀的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116170929 A
(43)申请公布日 2023.05.26
(21)申请号 202211712108.4
(22)申请日 2022.12.29
(71)申请人 南京工业大学
地址 211816
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