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本发明提供一种晶圆片的寿命测试方法，步骤包括：氧化，至少在晶圆片的一个表面上形成一层氧化膜；钝化，在具有所述氧化膜的其中一个所述晶圆片表面上进行电荷沉积；测试，再对钝化后的所述晶圆片表面进行寿命测试。本发明测试方法为无损检测，无需对晶圆片进行化学钝化，即可对晶圆片体内载流子寿命进行检测，测试结果准确且测试效率高，测试完成后可以继续对晶圆片进行其他理化性质方面的检测及测试，提高晶圆片的利用率，节约成本。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112366146 A
(43)申请公布日 2021.02.12
(21)申请号 202011221913.8 (51)Int.Cl.
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