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一种低温气体湿度测量系统及方法.pdfVIP

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  • 2023-05-28 发布于四川
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一种低温气体湿度测量系统及方法.pdf

    本发明提供一种低温气体湿度测量系统及方法，包括：利用冷镜露点法的原理，将气体湿度测量转化为对露点温度的测量；露点生成装置包括低温控温平台及冷镜，放置在低温控温平台载物台上，露点生成检测系统包括激光发射器和光电探测器，激光发射器、光电探测器通过光学通孔外接在低温控温平台真空罩外，激光发射器发出的光通过光学通孔入射到冷镜，经反射后进入装配滤光片的光电探测器，通过光电探测器信号明显变化判断露点生成。本发明使得低温控温平台降温到极低温度下的同时，激光发射器和光电探测器仍在常温状态下工作，此时精准测得冷镜

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112378956 B (45)授权公告日 2022.02.25 (21)申请号 202011187896.0 (22)申请日 2020.10.30 (65)同一申请的

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