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用于反应腔中加热管的散热装置及反应腔室.pdfVIP

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  • 2023-05-28 发布于四川
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用于反应腔中加热管的散热装置及反应腔室.pdf

    本申请公开一种用于反应腔中加热管的散热装置及反应腔室，所公开的散热装置(100)中，散热本体(110)用于与加热管(200)的基座(210)可拆卸连接，且导热相连，散热本体(110)内设有流体通道，流体流入部(120)和流体流出部(130)均与流体通道连通，调节阀(140)设置于流体流入部(120)上，温度测量器(160)设置于散热本体(110)与基座(210)的固定连接处，用于测量基座(210)的温度，且温度测量器(160)与温控器(150)的输入端电连接，调节阀(140)与温控器(150)的

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112342615 B (45)授权公告日 2021.08.13 (21)申请号 202011167179.1 C30B 25/16 (2006.01) (22)申请日

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