一种探针温度的控制方法.pdfVIP

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2023-05-28 发布于四川
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一种探针温度的控制方法.pdf

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本申请涉及半导体技术领域，本申请提供了一种探针温度的控制方法。本申请在探针和卡盘均能够正常工作的情况下，响应于接收到无损报警信号，控制所述卡盘接近测试用的探针卡，以便所述卡盘通过热传递使所述探针卡上的探针保持在测试温度上。避免了长时间等待后，需要花费大量时间对探针的温度进行预处理。大大节省了晶圆测试的时间，提高了产线生产效率。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115825706 A (43)申请公布日 2023.03.21 (21)申请号 202310160069.X (22)申请日 2023.02.24 (71)申请人长春光华微电子设备工程中心有限