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一种用于晶元返修机的加热保护吸嘴.pdfVIP

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  • 2023-05-28 发布于四川
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一种用于晶元返修机的加热保护吸嘴.pdf

    本发明提供了一种用于晶元返修机的加热保护吸嘴，包括带导流槽的微孔吸嘴、温度传感器、加热装置和保护气体流通装置，所述温度传感器、加热装置、保护气体流通装置分别固定在所述带导流槽的微孔吸嘴上，所述带导流槽的微孔吸嘴从下至上分为头部、身部和尾部，所述带导流槽的微孔吸嘴的头部设有吸附晶元的吸附孔。本发明的有益效果是：可通过加热装置对带导流槽的微孔吸嘴进行加热，进而对焊锡加热熔化，从而移除坏的晶元；可通过温度传感器来侦测带导流槽的微孔吸嘴头部的实时温度，从而实现恒温控制，可避免超温对晶元造成损坏；可通过所

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112372104 A (43)申请公布日 2021.02.19 (21)申请号 202011317544.2 (22)申请日 2020.11.23 (71)申请人 深圳市金翰半导体技术有限公司

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