一种可自动调节照度均匀性的蝇眼透镜及曝光系统.pdfVIP

一种可自动调节照度均匀性的蝇眼透镜及曝光系统.pdf

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本发明公开了一种可自动调节照度均匀性的蝇眼透镜，用于将入射宽光束分散成多道细光束后投射出去；包括多个可变透镜，各个可变透镜共面排列形成透镜阵列；各个可变透镜的焦距随其温度变化而变化。该蝇眼透镜可自动调节照度均匀性，无需人为干预或电脑控制。本发明还公开了一种采用上述蝇眼透镜的曝光系统。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112363255 A (43)申请公布日 2021.02.12 (21)申请号 202011590172.0 (22)申请日 2020.12.29 (71)申请人信利（仁寿）高端显示科技有限公司

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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