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- 2023-05-28 发布于四川
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本发明涉及基板处理技术领域，具体为一种基板冷热处理装置，包括支撑杆、下支撑板、上支撑板、框架、水箱、加热器以及空调，所述支撑杆位于下支撑板的下端，所述上支撑板位于下支撑板的上端，所述下支撑板上设有第二电热管、支撑部以及冷凝管，并且所述上支撑板与下支撑板之间设有连接杆，通过支撑杆支撑下支撑板，通过连接杆使上支撑板固定在下支撑板的上端，所述框架、水箱、加热器以及空调均位于下支撑板的左侧，所述水箱位于框架的底端，所述加热器安装在水箱的上端，所述空调安装在加热器的上端，通过加热器使第二电热管进行加热，通
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112379579 A
(43)申请公布日 2021.02.19
(21)申请号 202011244572.6
(22)申请日 2020.11.10
(71)申请人 芯米（厦门）半导体设备有限公司
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