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- 2023-05-28 发布于四川
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本发明公开了一种高动态范围图像传感器的微透镜结构及制作方法，包括由大子像素和小子像素组成的像素单元，像素单元包括自下而上依次布置的光电二极管、钝化层、彩色滤光片阵列、平坦层和微透镜阵列；光电二极管安置于半导体材料中，表面沉积钝化层、彩色滤光片阵列和平坦层；在平坦层之上沉积微透镜材料并通过一次光刻形成大子像素的小微透镜阵列和小子像素的小微透镜。使用较小的微透镜阵列可以更加精确控制微透镜偏移量，保证入射光最佳的聚焦位置；使用高度相同的微透镜可以减少光入射角过小时，大微透镜的遮挡问题，提高像素的灵敏度
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112382640 A
(43)申请公布日 2021.02.19
(21)申请号 202011251112.6
(22)申请日 2020.11.11
(71)申请人 上海韦尔半导体股份有限公司
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