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- 2023-05-28 发布于四川
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本发明探针卡载双进气道装置属于半导体器件测试技术领域;该探针卡载双进气道装置按照空气流动方向,包括空气泵,第一三通阀门,连接第一三通阀门第一出口的高温高压箱,连接第一三通阀门第二出口的常温高压箱,所述高温高压箱中设置有电阻丝、温度传感器和第一压强计,所述常温高压箱中设置有第二压强计,所述高温高压箱有两个出口,第一出口通过第一阀门连接下出气孔,第二出口连接第二三通阀门,所述第二三通阀门还分别连接常温高压箱的出口和第二阀门,所述第二阀门连接侧出气孔;本发明探针卡载双进气道装置应用于功率器件高温高压测
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112379135 B
(45)授权公告日 2022.03.11
(21)申请号 202011363361.4 G01R 35/00 (2006.01)
(22)申请日
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