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一种剥离夹具、剥离机及剥离夹具的使用方法.pdfVIP

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  • 2023-05-28 发布于四川
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一种剥离夹具、剥离机及剥离夹具的使用方法.pdf

    本发明提供了一种剥离夹具，涉及剥离工艺技术领域，包括承载板及夹持机构，承载板用于放置待夹持的样品；夹持机构包括若干夹持组件，若干夹持组件均位于承载板上，且能够调整各夹持组件在承载板上的位置，若干夹持组件用于夹持不同外形的样品。基于本发明的技术方案，可以使剥离机兼容不规则硅片，避免了不规则硅片只能通过手动剥离的情况，可以减少操作人员手工操作时对样品造成的损伤。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116169088 A (43)申请公布日 2023.05.26 (21)申请号 202310115793.0 (22)申请日 2023.02.08 (71)申请人 北京智创芯源科技有限公司 地址

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