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一种低成本的带纳米电极的太赫兹光电导天线的制作方法.pdfVIP

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  • 2023-05-28 发布于四川
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一种低成本的带纳米电极的太赫兹光电导天线的制作方法.pdf

    本发明公开了一种低成本的带纳米电极的太赫兹光电导天线的制作方法，其是将纳米压印和显影侧蚀相结合，加工出倒台形状的双层胶，并在制备金属镀层时通过使用开孔的金属挡板减小金属膜的面积，以解决lift‑off工艺加工纳米电极时金属剥离难的问题；同时使用从硬模板翻印而来的可多次利用的软模板，通过纳米压印技术来加工亚微米精度的纳米电极，通过掩膜版光刻来加工微米精度的主电极，从而提高了太赫兹光电导天线的加工速度，降低了加工成本，使其适合大批量生产。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112379574 A (43)申请公布日 2021.02.19 (21)申请号 202011322511.7 (22)申请日 2020.11.23 (71)申请人 福建中科光芯光电科技有限公司

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