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自动测量方法.pdfVIP

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  • 2023-05-28 发布于四川
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自动测量方法.pdf

    一种自动测量方法，包括：获取待测量图像，所述待测量图像内具有待测量图形；对所述待测量图形进行第一轮廓提取，获取第一轮廓图形；提供目标版图，所述目标版图内具有若干目标图形；根据待测量图像的坐标，将所述第一轮廓图形与目标版图进行第一对准，所述目标图形与第一轮廓图形相对应；对所述待测量图形进行第二轮廓提取，获取第二轮廓图形，所述第二轮廓图形与目标图形对应；获取目标图形与第二轮廓图形之间的第一偏移量和第二偏移量；根据所述第一偏移量和第二偏移量对所述第二轮廓图形进行第二对准；进行第二对准之后，根据目标图形

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116165847 A (43)申请公布日 2023.05.26 (21)申请号 202111417011.6 (22)申请日 2021.11.25 (71)申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限

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