原创力文档- 1
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- 2023-05-28 发布于四川
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本发明公开了一种晶圆自动化涂源装置，包括传送带和装有扩散源的喷雾装置；还包括，喷雾室壳体，配置于该传送带上方；支架，固定于该喷雾室壳体内壁；锁定机构，与该喷雾装置连接；该喷雾装置枢接于支架，该喷雾装置可绕其枢接中心转动，该锁定机构用于该喷雾装置与该支架之间的相对转动。本发明能够根据生产实际调整喷涂角度，以获得所需的涂覆效果。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112371393 A
(43)申请公布日 2021.02.19
(21)申请号 202011281213.8 B05B 15/68 (2018.01)
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