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一种薄膜声波谐振器及其制造方法.pdfVIP

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  • 2023-05-28 发布于四川
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一种薄膜声波谐振器及其制造方法.pdf

    本发明提供了一种薄膜声波谐振器及其制造方法，其中，薄膜声波谐振器包括：含有声反射结构的第一衬底；声波谐振器单元，至少部分位于所述声反射结构上，所述声波谐振器单元从下至上依次包括叠置的第一电极、压电层和第二电极；基板，通过环形围堰与所述第一衬底键合，并在所述基板与所述声波谐振器单元之间形成空腔，所述空腔中至少包括一个所述声波谐振器单元，所述基板和所述环形围堰其中至少之一具有屏蔽电磁波的作用。本发明有效的阻挡或衰减了谐振器单元产生的电磁波对外的传播，从而抑制谐振器单元的对外电磁辐射。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112350680 A (43)申请公布日 2021.02.09 (21)申请号 202011123731.7 (22)申请日 2020.10.20 (71)申请人 中芯集成电路（宁波）有限公司

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